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  • 产品名称:半导体制程使用Dummy Load精密负载

  • 产品型号:Dummy Load
  • 产品厂商:Bird
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简单介绍:
半导体制程使用Dummy Load精密负载为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态,现代等离子体应用需要**的RF功率调节和控制。半导体制程使用Dummy Load精密负载确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。
详情介绍:

半导体制程使用Dummy Load精密负载

Termination Load 精密负载为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态,现代等离子体应用需要**的RF功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。

BIRD 提供超稳定,低VSWR 的,针对发射机输出功率配合BIRD 精密功率传感器进行快速精确测量的负载。当运作在额定区域时,Dummy Load 负载VSWR 的总变化范围能够保持在0.1dB以内。

负载针对不同时间长度校准,重复性优良且无需预热。这样能够极大减小该项校准的误差,控制一个更关键的过程变量稳定。

 

选型列表

负载型号

功率

冷却方式

接口

8921

5KW

对流冷却

QC-LC(F)

8931-230

10kW

230VAC Fan

QC-LC(F)

8941-230SC

15kW

230 VAC Fan

QC-DIN(F)

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