产品详情
  • 产品名称:BIRD半导体主机台RF射频功率量测系统

  • 产品型号:RF Calibration
  • 产品厂商:Bird
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简单介绍:
在半导体生产中,射频能量直接决定了反应室中等离子体的特性。在半导体生产工艺中,任何环节的 可靠性都影响了*终良率。如在 wafer 生产的20日周期内,如若任何环节出现的微小偏差,后期可能会造成晶格损伤等严重问题,造成大批坏片。作为产业链其中的环节之一,维持射频电源的稳定输出是不可或缺的。在蚀刻、镀膜等工艺中对射频 电源的应用非常广泛,射频上可能出现的问题直接制约了生产工艺及效率。 在新进设备装机验证及日常运行阶段,需要定期使用BIRD半导体主机台RF射频功率量测系统对射频电源进行验证输出一致性并加以校正;当机台设备出现故障时,需要使用BIRD半导体主机台RF射频功率量测系统进行故障排查检测。
详情介绍:

BIRD 半导体 RF 测试

BIRD Semiconductor RF Measurement

 

BIRD Technologies 在射频行业的各市场及产业环节因可靠性而世界闻名──我们全身心致力于提升 BIRD 产品的可靠性。 

全球范围内设立有 Bird Service CenterBSC),能够根据各国家标准和各企业标准修理与校准 BIRD 产品。 BSC 能随时部署技术人员,监测和排除故障原因,解决任何现场的问题,优化客户方案,满足客户的需求。 

 

 

半导体市场

Semiconductor Market


  • 自从等离子体首次用于晶片生产过程后,功率测量就一直是半导体制造过程的关键部分。等离子体的 特性非常灵敏,受激励能量影响较大,而射频能量直接应用于激励等离子体;
  • 半导体产业包含了生产制造高度集成化电路,包含通过将大量极度复杂的生产工艺集成到昂贵的生产 材料上的过程。BIRD 长久以来为半导体行业生产过程器件的校准提供高可靠性的,准确度在 1%的功率 传感器及 RF 部件;
  • 相对于半导体生产环节的其他部分,RF 电源虽然体积小但是是极为重要的部分,直接影响等离子体特 性变化以及生产质量,因此射频可靠性在整个环节中不可或缺;
  • 生产过程的重复性对于提高产能和控制半导体生产材料的利润至关重要。BIRD 由于射频可靠性而闻名 同时我们也以能提供满足高重复性要求的仪器感到自豪。


BIRD 半导体测量解决方案

BIRD Semiconductor Measurement Solution

BIRD半导体主机台RF射频功率量测系统


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