10KW半导体制程Dummy Load
Termination Load 精密负载为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态，现代等离子体应用需要**的RF功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。
10KW半导体制程Dummy Load提供超稳定，低VSWR 的，针对发射机输出功率配合BIRD 精密功率传感器进行快速精确测量的负载。当运作在额定区域时，Dummy Load 负载VSWR 的总变化范围能够保持在0.1dB以内。
负载针对不同时间长度校准，重复性优良且无需预热。这样能够极大减小该项校准的误差，控制一个更关键的过程变量稳定。
选型列表
型号
功率等级
频率范围
冷却方式
预设接口
重量（kg）
8890-320
5kW
DC-2.4GHz
230VAC 风扇冷却
QC 型 LC（f）接口
33kg
8921
DC-1GHz
自然冷却
57kg
8931-230
10kW
65kg
8921SC13
DC-28MHz
*13.56MHz
8931-230SC13
8941-230SC13
15kW
QC 型 DIN（f）接口
107kg
粤公网安备 44030402001452号
