8890-300SC13

8890-300SC13, 2.5 kW，超稳定，油介质射频终端负载

为了*大限度地提高工艺的重复性和一致性，现代等离子体应用需要**的射频功率调节和控制。确保准确和可重复的射频功率传输到TH的关键部件E室是射频发生器的校准、调节和监测。Bird现在提供超稳定，低驻波比负荷，以快速和**的测量发射机的输出功率时，使用精度，功率传感器，如4020系列。在工艺临界频率下，Bird 8890-300SC13, 2.5 kW超稳定油介质射频终端负载不仅提供低的驻波比，而且小于0.1 dB的总变化。，由于不同时间的校准而造成重复性的风险。这可以避免*小化与此校准相关所产生的错误，并控制一个更关键的过程变量。

技术指标:

型号:8890-300SC13

品名:2.5 kW，超稳定，油介质射频终端负载

功率范围:2.5 kW

频率和VSWR:DC to 28 MHz @ 1.1 max.VSWR less than 1.05:1

阻抗 Ω:50 (nominal)

VSWR稳定性:< 0.1 dB, from 0 to 100% rated power at stability frequency

稳定频率:13.56 MHz ± 10 kHz

接口:"QC" 型 LC (F) - normally supplied

联锁热敏电阻-可选:正常关闭。在236°C(457°F)打开

热开关额定值:115 VAC, 10 A;230 VAC, 5 A

温度范围:Operating: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F);Storage: – 40 to +45 °C (– 40 to +113 °F)

高度:1520 m (5000 ft.)

湿度:95% noncondensing max.

冷却方式:油介质和空气对流

尺寸:25.2" x 7" x 17.2";638 x 178 x 437 mm

重量:59 lbs.27 kg

涂装:黑色环氧树脂